[发明专利]光学投影系统中的薄膜致动镜象阵列及其制造方法

摘要

本发明公开了一种光学投影系统中的薄膜式AMA,和一种制造该AMA的方法。该薄膜式AMA有一个基片,该基片具有一个电气线路和一个连接终端;一个作在该基片上的致动器;和一个在该致动器上形成的反射件(180)。该致动器具有多个致动部分(171,172),在该致动器中,相邻的致动部分在相反的方向上,一个接一个地倾斜。每一个致动部分具有底部电极(141,142),有源层(151,152),顶部电极(161,162),和通路触点(165,166)。该致动部分的顶部电极(161,162)和底部电极(141,142)是交叉连接的,因此,可在相反方向上产生电场。安装在该致动器上的该反射件(180)的倾斜角较大。因此,被该反射件(180)反射的光的光效率提高,并且,投影在屏幕上的图像的对比度也增大。

主权项

1.一种光学投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其由一第一个信号和一第二个信号驱动，所述薄膜致动镜象阵列包括：一个基片，该基片具有接收从外界来的该第一个信号，和传送该第一个信号的一个电气线路和一个连接终端；一个致动器，该致动器包括具有下列元件的第一个致动部分：i)用于接收该第一个信号的第一个底部电极，所述第一个底部电极在所述基片的第一部分上形成；ii)与所述第一个底部电极相应，用于接收该第二个信号和在所述第一个顶部电极和所述第一个底部电极之间，产生一个电场的一第一个顶部电极；和iii)在所述第一个顶部电极和所述第一个底部电极之间形成的、并由该电场的作用产生变形的一第一个有源层；该致动器还包括具有下列元件的第二个致动部分：a)用于接收该第二个信号的一第二个底部电极，所述第二个底部电极在所述基片的第二部分之上形成；b)与所述第二个底部电极相应，用于接收该第一个信号的第二个顶部电极，所述第二个顶部电极在所述第二个顶部电极和所述第二个底部电极之间产生一个电场；和c)在所述第二个顶部电极和所述第二个底部电极之间形成的，并由该电场作用产生变形的第二个有源层，所述第二个有源层与所述第一个有源层作成一个整体；所述第二个致动部分在与所述第一个致动部分的方向相反的方向上被驱动运动；该致动器还包括：用于将所述第一个底部电极与所述第二个顶部电极连接的一第一个连接装置，和用于将所述第一个顶部电极与所述第二个底部电极连接的一第二个连接装置；和用于反射光线的一个反射装置，所述反射装置形成在所述第二个致动部分上。