[发明专利]组合低温泵/吸气泵及其再生方法无效
| 申请号： | 97193407.X | 申请日： | 1997-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN1214638A | 公开（公告）日： | 1999-04-21 |
| 发明（设计）人： | 达西·H·洛里默 | 申请（专利权）人： | 赛斯纯净气体公司 |
| 主分类号： | B01D8/00 | 分类号： | B01D8/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 邰伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种组合低温泵/吸气泵(50),包括一个低温泵部分(52),它具有一个低温泵进口(76);一个吸气泵部分(54),它包括一个吸气泵进口(86);和一个用于将低温泵部分(52)和吸气泵部分(54)连接到被抽吸的工作腔的单一口(58)上的装置(60)。最好是圆柱形吸气泵部分(54)环绕圆柱形低温泵部分(52)。最好是低温泵部分(52)和吸气泵部分(54)通过闸阀装置(60)连接到工作腔的共同口(58)上。在一个实施例中,当处于关闭位置时,闸阀装置(60)将低温泵进口(76)和吸气泵进口(86)隔离。在另一个实施例中,当处于关闭位置时,闸阀装置(60)未将低温泵进口(76)和吸气泵进口(86)隔离。最好是在吸气泵部分(54)和低温泵部分(52)之间提供隔热件(78),以将两部分进行热隔离。低温泵部分最好包括一个15°K阵列(72)和一个80°K阵列(70a－d)。 | ||
| 搜索关键词： | 组合 低温泵 吸气 及其 再生 方法 | ||
【主权项】：
1．一种泵，包括：一个低温泵部分，它具有与低温泵腔相连的低温泵进口；一个吸气泵部分，它具有连通吸气泵腔的吸气泵进口，所述吸气泵腔与所述低温泵腔隔离，所述吸气泵部分至少部分地环绕所述低温泵部分；和一个连接装置，它将所述低温泵部分和所述吸气泵部分安装到要被抽吸的腔的单一口上，使得所述低温泵进口和所述吸气泵进口同时与所述口连通。
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