[发明专利]含2,4－二硝基－1－萘酚的正性光刻胶组合物无效
| 申请号： | 97197072.6 | 申请日： | 1997-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN1095553C | 公开（公告）日： | 2002-12-04 |
| 发明（设计）人： | 卢炳宏;R·R·达默尔;E·G·克吉达;S·S·迪克斯特 | 申请（专利权）人： | 克拉里安特国际有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;G03F7/022 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈季壮 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种光敏正性光刻胶组合物，包括一种成膜的酚醛清漆树脂、一种醌-二叠氮化物光活性化合物、一种溶剂和一种2，4-二硝基-1-萘酚染料的混合物，其中染料的含量超过光刻胶组合物总量的0.5wt.％。染料减小了反射性基体上光刻胶图形的线宽比的变化而不降低光敏组分的平面印刷性能。 | ||
| 搜索关键词： | 硝基 萘酚 光刻 组合 | ||
【主权项】：
1.一种为降低线宽振摆比率的正性光刻胶组合物，其基本成分为一种成膜的酚醛清漆树脂、一种醌-二叠氮化物光敏剂和2，4-二硝基-1-萘酚和一种或多种光刻胶溶剂，其中光刻胶溶剂选自丙二醇单烷基醚，丙二醇甲基醚乙酸酯，2-庚酮，乙酸丁酯，乙酸戊酯，3-乙氧基丙酸乙酯，乳酸乙酯，乙二醇单乙醚乙酸酯，乳酸乙酯及其混合物；2，4-二硝基-1-萘酚在光刻胶组合物中的含量为光刻胶总重量的0.5wt.％至1.5wt.％且光敏剂醌-二叠氮化物是一种重氮萘醌磺酰残基与一种酚残基的反应产物。
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