[发明专利]旋转处理装置及方法有效
| 申请号： | 97199723.3 | 申请日： | 1997-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN1275933A | 公开（公告）日： | 2000-12-06 |
| 发明（设计）人： | 土井敏;黑川祯明;樱井直明 | 申请（专利权）人： | 芝浦机械电子装置股份有限公司;株式会社东芝 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;H01L21/304;F26B5/08 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 朱登河,顾红霞 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种旋转处理装置及处理方法,使得旋转处理被处理物时产生的水雾不附着到被处理物上。该装置有一个罩体,由下罩和相对于下罩运动自如的上罩组成;罩内有一个保持被处理物的旋转件和驱动旋转件旋转的步进电机,且下罩底部连接有进行罩体内排气的排气管;在罩体内旋转件的上部配置着飞散防止盖。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种旋转处理被处理物的旋转处理装置，其特征为：由下罩和可以上下自由运动的上罩构成罩体，上罩和下罩之间有一定的间隙；罩体内装有保持被处理物的旋转件；有驱动旋转件转动的驱动装置；及在下罩的底部，连接有进行罩内排气的排气管；在上罩内周面装有保持在旋转件上的被处理物周围的飞散防止盖。
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