[实用新型]附有标准机械介面之晶圆运送装置

摘要

一种附有标准机械介面的晶圆运送装置,其主要包括用于将晶圆盒与运送容器脱离并可升高可动护罩,以便可使夹爪保持在良好的无尘等级环境中及有充分的运动空间的放置台升降机构;用于使夹爪升降至定点以抓取晶圆盒的夹爪垂直升降机构;用于利用倍行程设计将夹爪上的晶圆盒运送至定点的夹爪水平移动机构;用于将晶圆在盒内归位的夹爪摆动机构。

主权项

1．一种附有标准机械介面之晶圆运送装置，其特征在于它包括：放置台升降机构，该机构包括一个放置台(10)，该放置台(10)设有一个具有一个开启装置的固定台座(11)，该放置台(10)的一侧连结于一个线性滑轨(13a)上的一个滑块(14a)上，该滑块(14a)与一驱动源(15)相连接并由其驱动；该机构还包括一个外护罩(16)，在该外护罩内具有一个ㄈ型可动护罩(17)，该可动护罩(17)连结于放置台(10)的周侧；夹爪垂直升降机构，该机构包括一个与夹爪(21)相连结的升降支架(25)，该升降支架(25)与一个在一个线性滑轨(23)内的滑块(24)相连结，该滑块(24)与一驱动源(22)相连结并由其驱动；夹爪水平移动机构，该机构包括一个装设于上述升降支架(25)上的线性滑轨(26)，该线性滑轨(26)上的滑块(27)连结一个下支架(28)，该下支架上另设有一个皮带轮组，该皮带轮组的皮带(29)的一端利用一夹紧块(32)固定在该线性滑轨(26)上，该皮带(29)的另一端利用另一个夹紧块(33)与一个上支架(34)相连结，该上支架由在该下支架(28)上设置的另一个线性滑轨(35)来支撑，该滑块(27)与一驱动源(36)相连结并由其驱动；夹爪摆动机构，该机构设置在上述上支架(34)上，它包括设置在该上支架(34)一侧上的一个驱动源(38)，该驱动源(38)连动于设置在该上支架(34)另一侧上的蜗杆-蜗轮机构(41,42)，其蜗轮(42)则以一个传动轴(43)连结于夹爪(21)。