[实用新型]一种多用途柱状真空等离子体镀膜源无效
申请号: | 97228628.4 | 申请日: | 1997-10-06 |
公开(公告)号: | CN2312945Y | 公开(公告)日: | 1999-04-07 |
发明(设计)人: | 王福贞 | 申请(专利权)人: | 王福贞 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100027 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种多用途柱状真空等离子体镀膜源。它是由柱状源靶座、柱状源靶材、磁芯、磁芯转动机构、进出水管、屏蔽罩组成。一台镀膜机只配一个柱状源,配两个磁场强弱不同的磁芯、两种类型的电源。根据镀膜需要换上弧光放电用或换上磁控溅射用的磁芯便可以镀氮化钛或在塑料等低熔点基材零件上金属膜。使安装这种柱状源的镀膜机成为结构简单、操作简便的多用途真空镀膜机。 | ||
搜索关键词: | 一种 多用途 柱状 真空 等离子体 镀膜 | ||
【主权项】:
1.一种多用途柱状真空镀膜源,由柱状源靶座、柱状源靶材、磁芯、磁芯转动机构、进出水管、屏蔽罩组成,配两个磁性能强弱不同的磁芯,两类不同的电源,其特征是两种磁芯中安装的永磁体均呈条形,而且做旋转运动,靶面上的弧斑轨迹或辉光放电轨迹呈条形或曲线形。
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