[实用新型]X射线微探针的激光定位装置无效
| 申请号： | 97235392.5 | 申请日： | 1997-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN2310319Y | 公开（公告）日： | 1999-03-10 |
| 发明（设计）人： | 朱节清;乐安全;陆荣荣;吴国栋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海原子核研究所 |
| 主分类号： | G01N23/225 | 分类号： | G01N23/225 |
| 代理公司： | 上海华东专利事务所 | 代理人： | 谢晋光,沈能一 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种X射线微探针的激光定位装置,是将一束激光经过45°倾斜镜子反射以后,与透过该反射镜的初级X射线束一起穿过准直器的通孔,再沿相同光束线方向射到样品的表面。由于穿过该通孔的激光微束和X射线微束处于同一光束线,可见的激光点能够指示出不可见的X射线微束的位置。一台显微镜,经过另一面45°倾斜的镜子,能够以X射线和激光相同的视角观察样品表面,从而精确地测定X射线微束轰击在样品上的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 探针 激光 定位 装置 | ||
【主权项】：
1、一种X射线微探针的激光定位装置，包括设有通道孔(51)的X射线通道座(5)和设有准直通孔(61)的准直器(6)，初级X射线束(1)经该通道孔(51)进入准直通孔(61)后形成X射线微束(1′)并沿光束线(11)的方向射向样品(12)的表面，其特征在于有一与该X射线通道座(5)成倾斜吻合的激光灯管座(4)，并在该灯管座(4)上设一连通该通道孔(51)和准直通孔(61)的通道孔(42)和一与该通道孔(42)垂直贯通的通道孔(41)，并设一与该通道孔(41)和(42)成45°倾斜的激光反射镜(9)，使该初级X射线束(1)自通道孔(51)穿过该反射镜(9)经通道孔(42)进入准直通孔(61)；有一激光灯管(3)产生激光束(2)经该通道孔(41)射至该反射镜(9)后，经90°反射进入该通道孔(42)，再经准直通孔(61)后形成激光微束(22)，并沿光线束方向(11)射向样品(12)表面形成可见光斑，该光斑位置借由一安装在视角方向(13)的显微镜经另一反射镜(10)测定。
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