[发明专利]使用移动平台的电子束曝光方法无效
| 申请号： | 98101487.9 | 申请日： | 1998-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN1201165A | 公开（公告）日： | 1998-12-09 |
| 发明（设计）人： | 小野田中 | 申请（专利权）人： | 日本电气株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利代理有限责任公司 | 代理人： | 朱进桂 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种电子束曝光系统具有用于以恒速驱动平台的一连续平台驱动器,半导体芯片区被分成单元网孔阵列以计算在每个网孔中的图形密度。一组具有相同密度等级的网孔组合为一子条带区域,该子条带区域的尺寸等于或小于由电子束曝光系统的能力所确定的最大宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 移动 平台 电子束 曝光 方法 | ||
【主权项】：
1、一种电子束曝光方法，其特征在于包括如下步骤：将半导体芯片分成多个子条带区域，其中每个子条带的宽度等于或小于由电子束偏转范围确定的最大宽度，且至少有两个所述电子条带区域具有不同的宽度，并连续地将所述多个子条带区域曝光以致在所述半导体芯片上形成所要求的图形。
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