[发明专利]带有级间阀的多级机械高真空泵

摘要

带有至少一个级间控制阀的多级机械高真空泵已经被发明。级间控制阀控制从多级机械泵的一个级到下一个级的排气过程。本发明极大地提高了多级真空泵的真空度。另外,本发明极大地减少了润滑/密封油和气体的倒流。因此,带有级间控制阀的多级机械真空泵有非常高的整体效率。

主权项

1、一种带有级间阀的多级机械高真空泵，其特征在于：(1)所述高真空泵至少有两级，每一级有气体吸入通道和排出通道。(2)所述高真空泵至少有一个级间阀，所述级间阀连接在一个级(以下简称高真空级)的排气通道和另一个级(以下简称低真空级)的进气通道。由所述高真空级的排出气体通过所述级间阀排到所述的低真空级。