[发明专利]用能量束在工件表面熔蚀不规则凹陷形成复杂轮廓的方法无效
| 申请号： | 98103059.9 | 申请日： | 1998-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN1120763C | 公开（公告）日： | 2003-09-10 |
| 发明（设计）人： | 朝日信行;内田雄一;久保雅男 | 申请（专利权）人： | 松下电工株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;H01L21/027;B23K26/36;H05K3/00;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 刘晓峰 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种使用掩模和光学系统，在可熔蚀的工件表面激光熔蚀形成由不规则凹陷构成的复杂轮廓面的方法。这种方法包括根据预期的工件表面的特性来确定复杂轮廓面，把这种复杂轮廓面分解成一种以上简单的、具有不同特性的规则波的图形，然后将能量束照射到工件表面上，连续地熔蚀形成一个个单独的规则波的图形并叠加起来。这样，就不难实现以较高的效率和适当的成本得到所预期的复杂轮廓面。 | ||
| 搜索关键词： | 能量 工件 表面 不规则 凹陷 形成 复杂 轮廓 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在工件表面上形成由大量不规整凹陷所构成的复杂轮廓面的方法，该方法的步骤如下：确定复杂轮廓面；将一个能量束照射到所述工件的表面上，以便通过熔蚀在所述工件的表面上再生出所述复杂轮廓面；其特征在于，该方法还利用以下步骤：把所述复杂轮廓面分解成一系列简单的规则的具有不同特性的波的图形；及照射所述能量束以便通过熔蚀以叠加的方式连续地形成一个个单独的规则的波的图形，从而再生出所述复杂轮廓面。
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