[发明专利]多级减压装置和方法无效
| 申请号： | 98104254.6 | 申请日： | 1998-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN1083940C | 公开（公告）日： | 2002-05-01 |
| 发明（设计）人： | 赵南植 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种多级减压装置包括一输送器，用于以一恒定速度输送需要抽成真空的模件；多个多级减压元件，它们和上述模件连接，在和模件一起输送时，用以降低模件内压；输送元件，用于以与上述模件相同的速度输送上述多级减压元件；控制元件，用于控制上述输送器，上述多级减压元件和上述输送元件。本发明还涉及多级减压方法。根据本发明可通过自动降低模件内的压力来提高生产率，进而降低制造成本。$ | ||
| 搜索关键词： | 多级 减压 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多级减压装置包括：一输送器，用于以一恒定速度输送需要抽成真空的模件；多个多级减压元件，它们和所述模件连接，在和模件一起输送时，用以降低模件内压；输送元件，用于以与所述模件相同的速度输送所述多级减压元件；控制元件，用于控制所述输送器，所述多级减压元件和所述输送元件。
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