[发明专利]化学沉积用活化催化溶液和化学沉积方法无效

专利信息
申请号: 98105376.9 申请日: 1998-02-26
公开(公告)号: CN1075126C 公开(公告)日: 2001-11-21
发明(设计)人: 加纳修;吉田育史;小木曾美文 申请(专利权)人: 株式会社村田制作所
主分类号: C23C18/30 分类号: C23C18/30;C23C18/16;H05K3/18
代理公司: 上海专利商标事务所 代理人: 白益华
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 用于化学沉积的亲水性活化催化溶液是乳酸盐、钯和碱性介质的混合物。所述溶液在经过短时间辐照后能沉积钯催化剂,并能用水或类似物更有效地除去不需要的感光膜。所述乳酸盐最好包括乳酸铜和/或乳酸锌,所述钯盐最好是氯化钯。$#!
搜索关键词: 化学 沉积 活化 催化 溶液 方法
【主权项】:
1.一种用于化学沉积的亲水性活化催化溶液,它包括乳酸盐、钯盐和碱性介质的混合物。
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