[发明专利]用于测试半导体装置的机械手系统中的传送带装置无效
| 申请号： | 98105784.5 | 申请日： | 1998-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN1194230A | 公开（公告）日： | 1998-09-30 |
| 发明（设计）人： | 沈载均 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | B65G23/00 | 分类号： | B65G23/00;B65G23/44;B65G49/07 |
| 代理公司： | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人： | 杨梧 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种测试半导体装置的机械手系统,包括支承架装在其上并在传送方向的横向相互隔开的传送带;用于驱动传送带的驱动电机;支承架包括若干在每条传送带的前端和后端之间的各位置处沿与传送带传送方向的横向延伸的撑拉杆;装在该支承架上用于使每条传送带绕各撑拉杆偏转的张紧辊,这些撑拉杆处于由传送带形成的环路之外;使得可以将传送带从该支承架上卸下而不需卸开各撑拉杆;及由可使一传送带穿过其间的两半轴件构成的驱动轴。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测试 半导体 装置 机械手 系统 中的 传送带 | ||
【主权项】：
1.一种用于测试半导体装置的机械手系统，其包括一支承架，一对安装于该支承架上的传送带，该对传送带在相对这些传送带的传送方向的横向相互隔开；一用于驱动这些传送带的驱动电机；该支承架包括若干在每条传送带的前端和后端之间的各位置处布置的沿传送带的传送方向的横向延伸的撑拉杆，改进处包括，若干装在该支承架上用于使每条传送带绕各撑拉杆偏转的张紧辊，其中这些撑拉杆处于由传送带形成的环路之外，从而使得可将该传送带从该支承架上卸下而不需要从该支承架上卸开各撑拉杆。
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