[发明专利]使用电子束的图形曝光方法无效
| 申请号： | 98106176.1 | 申请日： | 1998-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN1091887C | 公开（公告）日： | 2002-10-02 |
| 发明（设计）人： | 中岛谦 | 申请（专利权）人： | 日本电气株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种用电子束对预先形成的基底图形进行重叠曝光的方法，其包括步骤如下1)将一组形成于基底图形上的图形分为任意的区域；2)计算每个任意区域的基底图形的区域密度；3)根据该区域密度产生一个图形；4)用图形进行辅助曝光；和5)进行主曝光以曝光一所要的图形。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 电子束 图形 曝光 方法 | ||
【主权项】：
1一种用电子束对预先形成的基底图形重叠曝光的图形曝光方法，其特征在于包括如下步骤：1)将一组形成于所述基底图形上的图形分割为反向散射直径大小的区域；2)计算每个所述分割区域的所述基底图形的区域密度；3)根据该区域密度产生一个矩形图形，并置于所述区域的中央；4)用所述图形进行辅助曝光，所述分割区域的方向散射所积累的能量相等；和5)进行主曝光以曝光一所要的图形。
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