[发明专利]集成电路制造厂批次序列机器的制造控制方法无效
申请号: | 98106297.0 | 申请日: | 1998-04-13 |
公开(公告)号: | CN1232211A | 公开(公告)日: | 1999-10-20 |
发明(设计)人: | 谢铭;潘寅生;曾鸿辉 | 申请(专利权)人: | 世界先进积体电路股份有限公司 |
主分类号: | G06F9/38 | 分类号: | G06F9/38 |
代理公司: | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人: | 马莹 |
地址: | 台湾省新竹*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种在制造工厂中操作批次序列机器的方法,用以最优化一通过一系列工序处理站的工作批量的工序,该工序处理站执行各种工序功能,该方法包括下列步骤收集用于通过各工序处理站的批量工序的间隔时间(Ii,j);形成一通过工序处理站的批量工序的减少时间矩阵;决定一系列处理站组合的减少时间排列,该处理站用以执行所需的工序任务;及选择提供总工序时间的最大减少值的间隔时间组合。 | ||
搜索关键词: | 集成电路 制造厂 批次 序列 机器 制造 控制 方法 | ||
【主权项】:
1.一种在一制造工厂中操作一批次序列机器的方法,用以在预防保养步骤之后,最优化一通过一系列工序处理站的工作批量的工序,该工序处理站执行各种工序功能,包括下列步骤:在一制造工厂中提供一批次序列机器;提供一具有数据存储作用的存储装置的数据处理系统;提供一中央处理装置,以用来(a)自该存储装置存取数据,(b)自一输入装置接收数据,(c)将数据供给该存储装置;收集用于通过各工序处理站的批量工序的间隔时间(Ii,j);形成一通过工序处理站的批量工序的减少时间矩阵;决定一系列处理站组合的减少时间排列,该处理站用以执行所需的工序任务;及选择提供总工序时间的最大减少值的间隔时间组合。
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