[发明专利]无污染金属刻蚀方法及其装置无效
| 申请号： | 98111618.3 | 申请日： | 1998-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN1257138A | 公开（公告）日： | 2000-06-21 |
| 发明（设计）人： | 朱刘;蒋振华;慎微 | 申请（专利权）人： | 朱刘 |
| 主分类号： | C25F3/14 | 分类号： | C25F3/14;C25F7/00 |
| 代理公司： | 南京大学专利事务所 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 214035 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种无酸污染的金属刻蚀方法,先在待加工金属板表面涂覆光致抗蚀剂,然后经干燥、感光、显影,对金属表面进行电致刻蚀,即采用正极电连接待处理金属,负极由另一导电体构成,正负极之间通有导电盐溶液,在正负极之间形成一个流动的液流。设备包括导电盐溶液池、直流或脉动直流电源,与待处理金属连接的电源正极,与电源负极连接的导电电极,电源负极制成一腔体、并与导电盐溶液泵的输出管相连,电源负极的表面制有多个导电盐溶液出液孔。 | ||
| 搜索关键词： | 无污染 金属 刻蚀 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种无酸污染的金属刻蚀方法，其特征是先在待加工金属板表面涂覆光致抗蚀剂，然后经干燥、感光、显影，再对金属表面进行电致刻蚀，即采用正极电连接待处理金属，负极由另一导电体构成，施加的直流电压范围是6-36V、其电流在15-300A；正负极之间通有导电盐溶液，且导电盐溶液在正负极之间形成一个流动的液流。
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