[发明专利]CVI/CVD工艺尾气处理方法与设备有效
| 申请号： | 98113023.2 | 申请日： | 1998-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN1254611A | 公开（公告）日： | 2000-05-31 |
| 发明（设计）人： | 成来飞;徐永东;张立同 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | B01D36/02 | 分类号： | B01D36/02;B01D53/34 |
| 代理公司： | 航空工业部西北专利事务所 | 代理人： | 黄毅新 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种适用于工业化生产的CVD/CVI尾气处理方法与设备,也可用于其他工业化真空设备的尾气处理;本发明采用多级复合处理工艺,将油过滤器、固体过滤器、机械泵和水环泵组装为尾气处理设备,对CVD/CVI工艺过程之前、之中和之后进行全面的尾气处理,使尾气的排放达到环保标准。采用油过滤器去除沉积产物固体粒子和分解产物焦油采用两级固体过滤器部分去除HCl气体和去除残余焦油;采用两台机械泵交替使用和更换泵油;采用由水环泵、循环NaOH溶液和气水分离器组成的水过滤。尾气处理具有设备性能稳定,安全可靠、操作简单、维修方便,成本低廉和价格低廉等优点。 | ||
| 搜索关键词： | cvi cvd 工艺 尾气 处理 方法 设备 | ||
【主权项】：
1、CVD/CVI工艺尾气处理方法与设备，其特征在于：采用油过滤、固体过滤和水过滤三级复合过滤的方法，对CVD/CVI工艺之前添加硅烷的外逸、工艺过程之中的尾气和工艺过程之后炉内残留硅烷和HCl气体进行处理，使尾气的排放达到环保标准。
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