[发明专利]墨水通道制造方法无效
| 申请号： | 98115179.5 | 申请日： | 1998-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1240713A | 公开（公告）日： | 2000-01-12 |
| 发明（设计）人： | 王介文;吴义勇;胡鸿烈;李明玲 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人： | 李晓舒 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种墨水通道制造方法,用于一喷墨印头晶片中,喷墨印头晶片形成于一矽基板上,该方法包括首先对矽基板的第一面进行选择性蚀刻,使矽基板的厚度变薄,并形成数个凹槽接着在各个凹槽中已变薄的矽基板上穿孔,形成数个墨水通道之后形成数个墨水室于矽基板的第二面上方,各个墨水室与各个墨水通道一一对应,以经由墨水填充槽道与墨水容器相通。 | ||
| 搜索关键词： | 墨水 通道 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种墨水通道制造方法，用于一喷墨印头晶片中，所述喷墨印头晶片形成于一矽基板上，其特征在于，所述墨水通道制造方法包括：对所述矽基板的第一面进行选择性蚀刻，使所述矽基板的厚度变薄，并形成数个凹槽；在所述凹槽中已变薄的矽基板上穿孔，形成数个墨水通道；形成数个墨水室于所述矽基板的第二面上方，各墨水室与各墨水通道一一对应，以与墨水容器连通。
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