[发明专利]钽喷丝头表面等离子体强化技术无效
| 申请号： | 98117034.X | 申请日： | 1998-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN1110579C | 公开（公告）日： | 2003-06-04 |
| 发明（设计）人： | 张德元;李放;陆德平;朱福如;许兰萍;彭文屹;罗文;张友亮;付青峰;邓鸣;蔡莉 | 申请（专利权）人： | 江西省科学院应用物理研究所 |
| 主分类号： | C23C8/36 | 分类号： | C23C8/36 |
| 代理公司： | 江西省专利事务所 | 代理人： | 马向红 |
| 地址： | 330029 *** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种钽喷丝头表面等离子体强化工艺。即在真空容器中，给钽喷丝头加上200-1000V的直流阴级电压，按4∶1-10∶1通入氢氮混合气体，使真空容器内保持100-1000Pa的真空度，调节电参数和真空度，使钽喷丝头保持500-900℃的温度，维持0.5-1.5小时，断电降温，到100℃以下时停气、停泵，取出喷丝头。该工艺成本低廉，处理后喷丝头的形状、尺寸变化小，表面粗糙度低，处理工序少，处理后的喷丝头纺织质量和使用寿命都得到了提高。 | ||
| 搜索关键词： | 喷丝头 表面 等离子体 强化 技术 | ||
【主权项】：
1、一种钽喷丝头表面等离子体强化工艺，其特征在于：a、将洁净的钽喷丝头置于一真空容器中，将容器抽至1Pa数量级的真空度；b、给钽喷丝头加上200-1000V的直流阴极电压，并通入含氢气和氮气的混合气体，氢气、氮气的分压比为4∶1-10∶1；c、控制泵的抽速，使真空容器内保持300-1000Pa的真空度，在容器内形成均匀、稳定的低温等离子体；d、调节电参数和真空度，使钽喷丝头的温度保持在500-900℃之间，维持0.5-1.5小时；e、断电降温，到100℃以下时停气，停泵，打开容器，取出喷丝头。
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