[发明专利]半导体集成电路测试装置无效
| 申请号： | 98117522.8 | 申请日： | 1998-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN1218183A | 公开（公告）日： | 1999-06-02 |
| 发明（设计）人： | 叶山久夫;后藤敏雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱德万测试 |
| 主分类号： | G01R31/303 | 分类号： | G01R31/303 |
| 代理公司： | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种IC测试装置,可连续自动地作复合IC存储器部分的测试和逻辑部分的测试。在测试盘的循环移动路线上设置在存储器用测试头(104A)和逻辑测试用测试头(104B),使放置在测试盘上的被测试IC以放置在其测试盘上的状态,与装在各测试头上的插座电接触,依次测试被测试IC的存储器部分和逻辑部分。最好是最初由存储器测试用测试头测试被测试IC的存储器部分,接着由逻辑测试用测试头测试被测试IC的逻辑部分。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 集成电路 测试 装置 | ||
【主权项】：
1．一种半导体集成电路测试装置，其中，测试盘沿着预定的运动路线以循环方式运动，从而通过在测试盘的路线中设置的测试头，测试载放在所述测试盘上的被测试各集成电路，其特征是，在所述测试盘运动路线上设置存储器测试用测试头和逻辑测试用测试头，被测试各集成电路每个均具有存储部分和逻辑部分，在各集成电路放置在所述同一测试盘上的状态由所述各测试头测试。
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