[发明专利]进行结构化的方法有效
| 申请号： | 98117948.7 | 申请日： | 1998-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN1211831A | 公开（公告）日： | 1999-03-24 |
| 发明（设计）人： | M·恩格尔哈德特;V·维恩里希 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | H01M10/04 | 分类号： | H01M10/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温宏艳 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一个对至少一个欲结构化的物料层进行结构化的方法,其步骤包括在欲结构化的物料层上涂敷一个掩膜,在涂敷上述掩膜的情况下,对欲结构化的物层进行结构化;除去上述掩膜,其中保留了该欲结构化的物料层的再现积物然后,再用声波作用除去上述欲结构化的物料层的再沉积物。 | ||
| 搜索关键词： | 进行 结构 方法 | ||
【主权项】：
1．对至少一个欲结构化的物料层进行结构化的方法，其步骤包括：-在欲结构化的物料层上涂敷一个掩膜，-在涂敷上述掩膜的情况下，对欲结构化的物料层进行结构化作用，-除去上述掩膜，其中保留了该欲结构化的物料层上的再沉积物，-用声波作用除去上述欲结构化的物料层上的再沉积物。
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