[发明专利]一种无腐蚀脉冲电化学抛光溶液及工艺无效
申请号: | 98119024.3 | 申请日: | 1998-09-25 |
公开(公告)号: | CN1249367A | 公开(公告)日: | 2000-04-05 |
发明(设计)人: | 李伟明;周游;陈炯枢;徐强 | 申请(专利权)人: | 李伟明 |
主分类号: | C25F3/24 | 分类号: | C25F3/24 |
代理公司: | 甘肃省专利服务中心 | 代理人: | 陶涛 |
地址: | 730000 *** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | 一种无腐蚀脉冲电化学抛光溶液及工艺,采用磷酸、硫酸、乙二醇、聚乙二醇、全氟表面活性剂、乙二胺四乙酸、Lan826、水为原料的抛光溶液,抛光溶液可在较宽操作温度及电流密度下使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 腐蚀 脉冲 电化学 抛光 溶液 工艺 | ||
【主权项】:
1、一种无腐蚀脉冲电化学抛光溶液及工艺,其特征是:磷酸含量为30-60%,硫酸含量为20-40%,乙二醇含量为0.3-3%,聚乙二醇含量为1-3%,全氟表面活性剂为10-50PPM,乙二胺四乙酸含量为1-5%,LAN826含量为0.25-0.6%,水含量为12-25%。
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