[发明专利]射频匹配网络的模糊逻辑调谐

摘要

用于阻抗匹配网络的模糊逻辑控制器(26)将相误差信号和幅误差信号(△Φ,△Z)模糊化。根据多个模糊集(30,32,34)将误差信号加到模糊逻辑推理函数(29)。误差信号的值在一个或多个模糊集内享有一定程度的从属关系。把模糊逻辑规则加到相位和幅度误差信号。在逆模糊化阶段(37),得出用来移动可变阻抗的调谐元件的驱动信号值。根据误差信号享有其从属关系的各模糊推理函数将驱动信号值加权。然后将加权后的驱动信号值组合,产生输出驱动信号。

主权项

1．一种调配以下类型的RF匹配网络(22)的模糊逻辑方法，所述类型的RF匹配网络具有加载给定频率和给定阻抗的RF功率的输入端，以及将所述功率加载到具有非恒定阻抗的RF负载(20)的输出端，所述匹配网络包括相位-幅度误差检测装置(24)，后者提供分别相关于阻抗相角误差和阻抗幅度误差的相位误差信号和幅度误差信号(ΔΦ,ΔZ)，所述匹配网络至少包括具有用来改变其阻抗的驱动元件的第一可变阻抗(C1)，以及具有用来改变其阻抗的驱动元件的第二可变阻抗(C2)，其特征在于所述方法包括：向模糊逻辑控制器(26)提供所述相位误差信号和所述幅度误差信号(ΔΦ,ΔZ)，其中每一个所述误差信号具有幅度和方向；根据多个重叠模糊集，将每个所述误差信号(ΔΦ,ΔZ)加到模糊逻辑推理函数内，这里所述误差信号的值享有一个或多个模糊集的从属关系；根据所述第一和第二误差信号享有其从属关系的模糊集，将模糊逻辑规则加到所述相位误差和幅度误差信号(ΔΦ,ΔZ)；根据用于每个相位误差信号和幅度误差信号的所述模糊逻辑规则，得出各驱动信号值；根据所述误差信号享有其从属关系的各模糊推理函数将所述驱动信号值加权；将加权后的驱动信号值组合，产生所述第一可变阻抗装置驱动元件(M1)的输出驱动信号(CS1)。