[发明专利]一种湿度传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 98121842.3 | 申请日： | 1998-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN1241720A | 公开（公告）日： | 2000-01-19 |
| 发明（设计）人： | 张益康;杨邦朝 | 申请（专利权）人： | 康达(成都)电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/28 | 分类号： | G01N27/28;H01L49/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610041 四川省成都市永丰*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种湿度传感器,包括两个氧传感器,两个氧传感器分别包括一个氧化锆薄片,薄片中央有一个扩散孔,薄片两侧印刷有第一电极、第二电极,两个薄片上的第二电极被同一盖件覆盖且在两个第二电极与盖件间分别形成各自的扩散室。该湿度传感器的优点是可在250℃以下温度范围内测量气体中的湿度。本发明还公开了该湿度传感器的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 湿度 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种湿度传感器，其特征在于它由两个固体电解质氧化锆界限电流式氧传感器组合而成。
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