[发明专利]大面积透射光栅软X射线光谱仪

摘要

一种大面积透射光栅软Ｘ射线光谱仪，包括机械构件和光学元件两大部分。机械构件包括头部衔接管的接口法兰与真空靶室窗口密接，衔接管的衔接法兰与外套筒的前衔接法兰衔接，外套筒内固定于头部衔接法兰上有装有悬挂式导轨的斜拉加强筋的支撑板。光学元件包括沿着软Ｘ射线束Ｓ前进方向上，依次有矩形光阑，分别置于导轨上五维调整架上作为反射镜的轮胎镜和无支撑大面积透射光栅。它具有结构简单、调节方便、分辨率高、光谱分辨率可达０．０５nm的优点。

主权项

1．一种大面积透射光栅软X射线光谱仪，包括机械构件和光学元件两大部分，机械构件包括头部(1)、导轨(4)、作为外壳的外套筒(5)和调整架(9)、(10)，光学元件包括反射镜(6)、光阑(13)、光栅(7)、接收器件(8)和显示器件(12)，其特征在于具体结构是：机械构件的头部(1)是由一衔接管(102)，前端带有与真空靶室窗口(14)真空密接的接口法兰(101)和后端带有衔接法兰(103)所构成；上述头部(1)的衔接法兰(103)上固定有带斜拉加强筋(3)的支撑板(2)，加强筋(3)上装有悬挂式的导轨(4)，导轨(4)上置有五维调整的调整架(9)、(10)；头部(1)后端是中心轴线(O2O2)与头部(1)中心轴线(O1O1)之间有一夹角α≤10°的外套筒(5)，外套筒(5)是由筒体(502)，前端带有与头部(1)衔接法兰(103)密接的前衔接法兰(501)和后端是装有接收器件(8)的后衔接法兰(503)所构成；光学元件包括沿着由软X射线源(11)发射的软X射线束S前进方向上，依次置有矩形光阑(13)，置于调整架(9)上作为反射镜(6)的轮胎镜，置于调整架(10)上的无支撑大面积透射光栅(7)，接收器件(8)和与其输出相联的显示器件(12)。