[发明专利]具有模拟量、开关量和频率输出的温度传感器(F元件)无效
| 申请号： | 98124283.9 | 申请日： | 1998-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN1255753A | 公开（公告）日： | 2000-06-07 |
| 发明（设计）人： | 宋世庚;陶明德;吴关炎;丛秀云 | 申请（专利权）人： | 中国科学院新疆物理研究所 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 中国科学院新疆专利事务所 | 代理人： | 张莉 |
| 地址： | 830011 新疆维*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有模拟量、开关量和频率输出的温度传感器(F元件),该元件是用单面抛光的N型Si片制作,SI片电阻率在40到200Ωcm之间,其流程包括氧化、光刻、硼预淀积、硼再分布和氧化、光刻、磷预淀积、磷再分布和氧化、刻引线孔、蒸铝、反刻铝、铝合金化、背面镀镍、划片、粘片、焊线、封装等。该元件制作工艺简单,成本低,应用方便,抗干扰能力强,适合于长距离传输。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 模拟 开关 频率 输出 温度传感器 元件 | ||
【主权项】：
1、一种具有模拟量、开关量和频率输出的温度传感器(F元件)，其特征在于，该传感器(F元件)是用单面抛光的N型硅片制作，硅片电阻率在40-200Ωcm之间，其工艺流程为：氧化、光刻、硼预淀积，硼再分布和氧化，光刻，磷预淀积，再分布和氧化，刻引线孔，蒸铝，反刻铝，铝合金化，背面镀镍，划片、粘片、焊线、封装即可。
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