[发明专利]产生直接绘图数据的方法以及直接绘图的方法和装置

摘要

一个设计数据1包含多个绘图图案3,每个绘图图案3由一个单位矩形绘图图案A和一个单位矩形绘图图案B组成。当设计数据被转换为绘图数据时,设计数据1被分为多个SSF4,每个SSF包含的各绘图图案3被分为单位矩形图案A和B。所有单位矩形图案A和B被赋予地址信息,使得绘图按序进行,每个SSF4包含的全部单位矩形图案A和B按照地址信息的顺序排序。因此,由于有可能使粒子束的偏转量变为最小,所以有可能使由粒子束偏转精度低造成的绘图精度的恶化降至最小。

主权项

1.一种产生用于带电粒子束直接绘图的直接绘图数据的方法，无论包含在一个设计数据中的每个绘图图案的单元结构以及包含在每个绘图图案中的单位图案的种类是怎样的，在带电粒子束可被偏转的一个范围内的绘图图案被排序以准备直接绘图数据。