[发明专利]共聚物树脂,其制备方法及用其制成的光阻剂无效
| 申请号： | 98126742.4 | 申请日： | 1998-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN1223252A | 公开（公告）日： | 1999-07-21 |
| 发明（设计）人： | 郑旼镐;高次元;金亨基 | 申请（专利权）人： | 现代电子产业株式会社 |
| 主分类号： | C07C69/60 | 分类号： | C07C69/60;C08F218/14;H01L21/312 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 丁业平 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种作为使用于超短波长光源如氟化氪或氟化氩的光阻剂的共聚物树脂及其制备方法和用其制成的光阻剂。经由引入2,3－二—叔丁基－5－降冰片烯－2,3－二羧酸酯单元至降冰片烯－顺丁烯二酸酐共聚物的结构中,根据本发明的共聚物树脂可经由传统自由基聚合而容易地制备,在193nm波长具有高透明性,提供增加的抗蚀刻性,由于在共聚物树脂中的保护比例增加,而防止尖端损失现象及增加粘合强度,且显示0.13μm的优良解析度。 | ||
| 搜索关键词： | 共聚物 树脂 制备 方法 制成 光阻剂 | ||
【主权项】：
1．一种下列式Ⅲ所示的化合物：[式Ⅲ]
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于现代电子产业株式会社，未经现代电子产业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/98126742.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
