[发明专利]大功率电子束的驱动方法

摘要

本发明涉及一种大功率电子束的驱动方法，所述电子束用于使处在坩埚等装置内的材料气化。用该方法可自动对偏转误差进行静态或动态修正。首先，用教入方法检测各个空间坐标和各个偏转电流的频率并将其存储到存储器中。在以后的操作中，将以这样的方式使用所存储的数据，将对应于电子束击中点的集合数据自动地换算到经修正的电流值，以此影响给定点的准确击中。在确定偏转电流的频率时也采取同样的方法。对给定的频率将自动修正振幅和曲线形状，以减少频率衰减效应。

主权项

1、一种用于操作电子束的方法，所述电子束用于使处在坩埚内的材料气化 或熔化，该方法包括以下步骤： 设置至少一个用于所述电子束的偏转单元，所说至少一个偏转单元提供图 像缺陷； 选择待汽化或熔化的材料表面的至少一个点的几何坐标(x，y；r，)； 采用纠错算法将所选择的几何坐标(x，y；r，)转换成电流(I_x，I_y；I_r， I_)，其中所述纠错算法用于校正所述至少一个偏转单元的图像缺陷； 把所述电流提供给所述至少一个偏转单元； 通过所述至少一个偏转单元以某一强度把所述电子束射向待汽化或熔化的 材料；以及 以一可预先确定的速度把所述电子束导向待气化或熔化的材料表面的所述 至少一个点上。