[实用新型]批量生产CVD金刚石片的灯丝工装无效
| 申请号： | 98205844.6 | 申请日： | 1998-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN2373459Y | 公开（公告）日： | 2000-04-12 |
| 发明（设计）人： | 曲承林 | 申请（专利权）人： | 曲承林;曲天亮 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;H01K3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266045 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种适合热丝CVD法批量生产金刚石片的灯丝工装,它是在已有架设灯丝的电极上增加了可在电极上移动的滑块,其位移可抵消灯丝热膨胀所产生的伸长量,使灯丝始终保持直线状态,工作参数稳定;停电时,灯丝收缩使滑块向回运动,灯丝不断裂。同时还增加了支架、灯丝定位板和电极定位板,可用它们将灯丝做成“灯丝总成”,然后再移到系统中的电极上。用该工装装配灯丝,省时,重复性好,并可保证工艺的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 批量 生产 cvd 金刚 石片 灯丝 工装 | ||
【主权项】：
1、一种热丝CVD法生产金刚石膜的灯丝工装，在真空系统中架设数根灯丝，其特征是：在支架上用定位板联结两组电极组件，其中一块是带有滑块的活动电极组件，用灯丝定位板限位将灯丝固定在两电极上，构成“灯丝总成”，然后移植到真空系统的电极上。
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