[实用新型]真空镀膜室的薄壳结构无效
| 申请号： | 98210521.5 | 申请日： | 1998-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN2326612Y | 公开（公告）日： | 1999-06-30 |
| 发明（设计）人： | 许生;李贵和 | 申请（专利权）人： | 深圳威士达真空系统工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市专利服务中心 | 代理人： | 成义生 |
| 地址： | 518027 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空镀膜室的薄壳结构,它包括壳体11、门框12、法兰2及门体3,其上敷设有加强筋4和冷却水道5,其特征在于壳体11是由薄钢板经折边而成的由顶板、背板及底板所围成的三面体和两个连接短边构成的一体化结构,壳体11与门框12连接构成盒形壳体1,盒形壳体两侧装有法兰2,其前部装有拱形门体3,加强筋2和冷却水道3并设于盒形壳体内、外。本实用新型能大幅度节省金属材料,减轻设备重量,降低生产成本,提高水冷却效率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 结构 | ||
【主权项】：
1、一种真空镀膜室的薄壳结构，它包括壳体(11)、门框(12)、法兰(2)及门体(3)，其上敷设有加强筋(4)和冷却水道(5)，其特征在于壳体(11)是由薄钢板经折边而成的由顶板、背板及底板所围成的三面体和两个连接短边构成的一体化结构，壳体(11)与门框(12)连接构成盒形壳体(1)，盒形壳体两侧装有法兰(2)，其前部装有拱形门体(3)，加强筋(2)和冷却水道(3)并设于盒形壳体内、外。
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