[实用新型]智能超高真空冷阴极电离规控制器无效
申请号: | 98217148.X | 申请日: | 1998-07-17 |
公开(公告)号: | CN2337545Y | 公开(公告)日: | 1999-09-08 |
发明(设计)人: | 高辉;张允武;盛六四;齐飞;武国华 | 申请(专利权)人: | 中国科学技术大学 |
主分类号: | G01L21/34 | 分类号: | G01L21/34 |
代理公司: | 中国科学技术大学专利事务所 | 代理人: | 赵乌兰 |
地址: | 230026*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种智能超高真空冷阴极电离规控制器。它由程控放电电流放大器,高压电源、微处理器单元和壳体构成。程控放电电流放大器与微处理器单元相连接,高压电源与程控放电电流放器相连接。本实用新型可以有效控制国内外超高真空阴阴极电离规管;测量范围宽(1×10-1Pa~5×10-9Pa),精度高;功能完善具有保护、报警、通讯功能,还具有真空度报警阈值设定、时间显示功能;能与国外真空计媲美,但价格低廉。 | ||
搜索关键词: | 智能 超高 真空 阴极 电离 控制器 | ||
【主权项】:
1.一种智能超高真空冷阴极电离规控制器,包括微处理器单元[4]和壳体,其特征在于还包括程控放电电流放大器[2]和高压电源[3],程控放电电流放大器[2]与微处理器单元[4]相连接,高压电源[3]与程控放电电流放大器[2]相连接。
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