[实用新型]一种大面积沉积非晶硅的反应盒

摘要

一种大面积沉积非晶硅的反应盒,由不锈钢反应气体上导气管,不锈钢反应气体下导气管,不锈钢反应盒门板,反应盒中心铝电极板,不锈钢反应盒两端头堵板构成。不锈钢反应气体上、下导气管的导气结构为其横截面为“吕”字型方通管,在方通管中间的隔板上钻制有m排n列个直径为d的气流孔,在不锈钢反应气体上导气管(1)下部“U”型槽的两侧各有一排相距为a直径为b的气流孔,导气管的进出气口在“吕”字型不锈钢反应气体导气管的上方通孔管的位置。

主权项

1、一种大面积沉移非晶硅的反应盒，由不锈钢反应气体上导气管(1)，不锈钢反应盒门板(2)，反应盒中心铝电极板(3)，不锈钢反应气体下导气管(4)，不锈钢反应盒两端头堵板(7)构成，其特征在于：所述反应盒不锈钢上反应气体导气管(1)的不锈钢材料选择为0Cr18Ni9Ti或0Cr18Ni11Ti，导气管壁厚为1～2mm，上导气管横截面为“吕”字型方通管，即在不锈钢方通孔的中间有一隔板，将原方通孔管分为上下两个方通孔管，在隔板上制有m排n列个直径为d的气流孔(其中m,n为大于1的正整数)，在不锈钢反应气体上导气管(1)下部有一倒“U”型槽，使上导气管可以架在反应盒中心铝电极板(3)上，在不锈钢反应气体上导气管(1)下部倒“U”型槽内有聚四氟乙烯“U”型槽，套在反应盒中心铝电极板(3)上，使不锈钢反应气体上导气管(1)和反应盒中心铝电极板(3)之间有聚四氟乙烯槽相隔，保证不锈钢反应气体上导气管(1)与反应盒中心铝电极板(3)电气绝缘，在不锈钢反应气体上导气管(1)下部“U”型槽的两侧，各有一排相距为a直径为b的气流孔，上导气管的进出气口在“吕”字型不锈钢反应气体上导气管的上方通孔管的位置；所述反应盒中心铝电极板(3)由铝材料制成，为厚度约1cm的长度与上下导气管长度相同的长方形铝板，为非晶硅沉积反应盒的射频电源的正极，在铝板的导气管进气口侧的中间位置，有一射频电源正极输入电极杆；所述不锈钢反应气体下导气管(4)内部的导气方通孔及气流孔的结构与不锈钢反应气体上导气管的结构相同，其上底部有“U”槽，槽内有一“U”型聚四氟乙烯槽，套在反应盒中心铝电极板的下底部，使不锈钢反应气体下导气管(4)与反应盒中心铝电极板(3)保证电气绝缘，不锈钢反应气体下导气管(4)的下底部装有轮轴；所述不锈钢反应盒门板(2)由不锈钢材料0Cr18Ni9Ti或0Cr18Ni11Ti制成，板厚为1～2mm，门板的长度与反应盒的长度相同，门板的高度与中心铝板加上导气管的高度相同，不锈钢反应盒门板(2)有两个，分别立于中心铝板的两侧贴于上、下导气管上，分别与中心铝板相距25～30mm的间距，并与中心铝板相绝缘，所述不锈钢反应盒两端头堵板(7)由不锈钢0Cr18Ni9Ti或0Cr18Ni11Ti材料制成，为两个高度与反应盒高度相同，宽度与反应盒宽度相同的长方形堵头板