[实用新型]用于软X射线波段的透射光栅光谱仪无效
| 申请号： | 98225672.8 | 申请日： | 1998-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN2399725Y | 公开（公告）日： | 2000-10-04 |
| 发明（设计）人： | 邓建;张正泉;徐至展;钟方川;覃岭 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N23/02 | 分类号： | G01N23/02 |
| 代理公司： | 上海华东专利事务所 | 代理人： | 李兰英 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于软X射线波段的透射光栅光谱仪,含有机械构件和光学元件。机械构件包括置于头部前端位于真空靶室内的差分泵浦部件、置于头部后边的外套筒,外套筒内有放置调整架的悬挂式导轨。光学元件含有置于差分泵浦部件前靠近真空靶室内软X射线源的抗激光破坏性强的片状材料构成的狭缝。沿软X射线束S前进的方向上,有轮胎镜的反射镜、无支撑大面积透射光栅。适用于软X射线波段内激光与脉冲气体靶相互作用光谱特性的测试。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 射线 波段 透射 光栅 光谱仪 | ||
【主权项】：
1.一种用于软X射线波段的透射光栅光谱仪，含有机械构件和光学元件，机械构件包括前端与真空靶室(2)窗口法兰相联的接口法兰(301)、后端带衔接法兰(303)的衔接管(302)构成的头部(3)，头部(3)后边有由前衔接法兰(701)、筒体(702)、后衔接法兰(703)及真空泵衔接法兰(704)构成的外套筒(7)，外套筒(7)的前衔接法兰(701)与头部(3)的衔接法兰(303)相联，置于外套筒(7)内，固定于头部(3)的衔接法兰(303)上支撑板(401)上的斜拉加强筋(402)上有悬挂式导轨(4)，导轨主体(403)上置有调整架(5)、(6)；光学元件包括：沿着由真空靶室(2)内靶点的软X射线源(9)发射的软X射线束S前进的方向上，依次有矩形光阑12，置于调整架(5)上的轮胎镜的反射镜(13)，置于调整架(6)上的无支撑大面积透射光栅(14)；其特征在于置于头部(3)前端，位于真空靶室(2)内，有由前差分头(102)，置于前差分头(102)靠近真空靶室(2)内靶点的软X射线源(9)的前端面上止口Z内的差分孔片(101)，前差分头(102)的后端联有后差分头(103)，与后差分头(103)后端相联的后端面带有端面压板(105)的差分筒(104)所构成的差分泵浦部件(1)，差分泵浦部件(1)上的后差分头(103)上的端面压板(105)被压合密接在头部(3)的接口法兰(301)和真空靶室(2)窗口法兰之间，差分泵浦部件(1)的前面，靠近靶点的软X射线源(9)处置有狭缝(8)，狭缝(8)的中心恰好落在差分泵浦部件(1)与头部(3)同一中心轴线O1O1上。
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