[实用新型]采用线状平行激光光源与线阵探测器的尺寸测量仪无效

专利信息
申请号: 98225931.X 申请日: 1998-01-24
公开(公告)号: CN2375947Y 公开(公告)日: 2000-04-26
发明(设计)人: 刘文清;张长秀;张玉均;王峰平;曹念文;许克军 申请(专利权)人: 中国科学院安徽光学精密机械研究所
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02
代理公司: 中国科学院合肥专利事务所 代理人: 周国城
地址: 230031*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开了一种采用线状平行激光光源与线阵探测器的尺寸测量仪的结构是由激光扩束单元、线阵探测器接收单元和信号处理、分析与显示单元这三个单元组成的。本实用新型的扩束光学系统的放大倍数任意可变而且无任何象差;线状平行光源的发散角可达衍射极限,且调整方便,价格便宜;是有极好应用前景的尺寸测量仪。
搜索关键词: 采用 线状 平行 激光 光源 探测器 尺寸 测量仪
【主权项】:
1.一种采用线状平行激光光源与线阵探测器的尺寸测量仪,其特征在于,是由激光扩束单元,线阵探测器接收单元和信号处理、分析与显示单元,这三个单元组成的。
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