[实用新型]扩展式鉴相型容栅传感器无效
| 申请号： | 98245136.9 | 申请日： | 1998-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN2378714Y | 公开（公告）日： | 2000-05-17 |
| 发明（设计）人： | 周铁 | 申请（专利权）人： | 桂林市精达数字产品有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02;G01R27/26;G01D5/241 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 541004 广西壮*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 一种扩展式鉴相型容栅传感器,特别是直线运动型式的传感器,其副栅(5)上的发射极板(3)由传统的连续排列扩展为按组分列,组间间距等于主栅的一个节距或是节距的整数倍,各发射极板(3)在偶合区域外按一定规律扩散并与相应的导电孔相连。各组发射极板(3)之间采取屏蔽措施,屏蔽极板(4)与发射极板(3)之间的间距a等于相邻发射极板(3)之间的间距b。本实用新型可以在小节距的传感器上采用金属化孔的方式导电,它特别适用于直线运动方式,也适用于回转运动方式。 | ||
| 搜索关键词： | 扩展 式鉴相型容栅 传感器 | ||
【主权项】：
1、扩展式容栅传感器(以下简称传感器)，特别是直线运动型式的传感器，其副栅(5)上的发射极板(3)按组分列，组间间距等于主栅的一个节距或是主栅节距的整数倍。
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