[发明专利]制造多层磁头的方法

摘要

一种制造多层磁头的方法,依次由作为第一磁通导向器的第一导磁层(9)、作为换能间隙的非磁性间隙层(15)、作为第二磁通导向器的第二导磁层(17)组成。为在读出过程中形成较窄的间隙宽度,该制造方法包括步骤准备一非磁性基层,通过去除非磁性材料在该非磁性基层形成中空部分,成为中空的基层(3a);在此中空基层上形成第一导磁层;在该第一导磁层上形成非磁性中间层(11);去除该中间层的部分材料形成平面,其组成包括部分基层、部分第一导磁层和部分中间层,其中在所述平面上第一导磁层的厚度决定了所形成磁头的换能间隙宽度;在所述平面形成非磁性间隙层,在所述间隙层上形成第二导磁层。

主权项

1．一种制造磁头的方法，其中磁头的前端面在磁头和记录介质可相对运动的第一方向以及垂直于该第一方向的第二方向延伸，其组成包括第一磁通导向器、第二磁通导向器和由该两磁通导向器所界定的换能间隙，在该方法中磁头为多层结构，其中连续形成作为第一磁通导向器的第一导磁层，作为换能间隙的非磁性间隙层，作为第二磁通导向器的第二导磁层，其特征在于：形成非磁性基层，通过去除非磁性材料在该非磁性基层形成中空部分来结构化该基层，其中空部分的深度在所形成磁头的端面的第一方向延伸，壁部贯穿所形成磁头的端面，在此结构化基层上形成第一导磁层，其在所形成磁头的端面的厚度小于该中空部分的深度，在第一导磁层上形成非磁性中间层，去除材料形成平面，该平面包括，在所形成磁头的端面，部分基层、部分第一导磁层和部分中间层，在所述平面形成非磁性间隙层，在所述间隙层上形成第二导磁层从而形成磁头端面。