[发明专利]经表面显微机械加工的声波压电晶体无效
| 申请号： | 98807379.X | 申请日： | 1998-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN1264505A | 公开（公告）日： | 2000-08-23 |
| 发明（设计）人： | B·沃亚克;J·杨;J·黄;J·曼特森 | 申请（专利权）人： | CTS公司 |
| 主分类号： | H03H9/13 | 分类号： | H03H9/13;H03H9/205;H03H9/56 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王勇,王忠忠 |
| 地址： | 美国印*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种高频声表面波压电器件(10),具有切入压电基片的平行刻蚀的沟道,以便形成经显微机械加工的脊(20)。顶部电极(30)位于脊(20)的顶部(26),底部电极(32)位于脊(20)之间的间隔(22)内的沟道底部。顶部和底部电极(30,32)都相互错开且不直接相对。当激励脊(20)产生谐振时,电极(30,32)会产生足够的垂直电场(38)。脊(20)的高度(28)确定了工作频率。可以将脊(20)作得非常小,以便在主要的体声波模式下产生远远大于100MHz的频率。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 显微 机械 加工 声波 压电 晶体 | ||
【主权项】：
1.一种声波压电器件，包括：一种压电基片，具有由其上表面和下表面所确定的厚度；与压电基片上表面集成在一起的若干凸脊，在它们之间有间隔，所述凸脊具有在该基片的上表面的一个基底，还具有一个顶，该基底和顶确定脊的高度；若干顶部电极，这些电极沉积在所述凸脊的相应的顶上；以及若干底部电极，这些电极沉积在凸脊之间的间隔之内的压电衬底的上表面上，该顶部和底部电极实际上不相对，若干电极，当受到电激励时，能驱动脊振动，这样就产生了声波，并使该声波能直接垂直进入所述压电基片。
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