[发明专利]薄膜驱动反射镜阵列

摘要

这里公开了一种薄膜AMA驱动反射镜阵。该薄膜AMA驱动反射镜阵具有有源矩阵、支撑部件(175)、致动器(210)和反射部件(260)。致动器(210)具有下电极(180)、两个有源层(190,191)和两个上电极(200,201)。由于在下电极(180)和两个有源层(190,191)间,或两个有源层(190,191)与两个上电极(200,201)间形成有边缘差,所以致动器(210)具有最大倾斜角。另外,由于致动器(210)的层(190,191)分别具有合适厚度,所以可以增大致动器(210)倾斜角。因此,投射到屏幕上的图像的质量提高,AMA的设置会更容易。

主权项

1.一种薄膜驱动反射镜阵列，由第一信号和第二信号驱动，所说薄膜驱动反射镜阵列包括：有源矩阵，所说有源矩阵具有基片和第一金属层，基片包括安装于其中用于开关操作的金属氧化物半导体晶体管，第一金属层具有从用于传输第一信号的金属氧化物半导体晶体管的漏延伸的漏焊盘；支撑部件，所说支撑部件具有形成于所说有源矩阵之上的支撑线、与所说支撑线形成一体的支撑层和分别形成于所说有源矩阵和与支撑线相邻的所说支撑层的各部分之间的多个固定器；致动器具有i)接收第一信号的下电极，所说下电极形成于所说支撑层上，ii)接收第二信号并产生第一电场的第一上电极，所说第一上电极对应于所说下电极的第一部分，iii)接收第二信号并产生第二电场的第二上电极，所说第二上电极对应于所说下电极的第二部分，iV)形成于所说下电极的第一部分和所说第一上电极之间并在第一电场作用下变形的第一有源层，及V)形成于所说下电极的第二部分和所说第二上电极之间并在第二场作用下变形的第二有源层；及反射光的反射装置，所说反射装置形成于所说致动器之上。