[发明专利]改进的热固性深紫外抗反射涂料有效
| 申请号： | 98809390.1 | 申请日： | 1998-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN1302391A | 公开（公告）日： | 2001-07-04 |
| 发明（设计）人： | J·D·麦多尔;D·J·古尔瑞罗;邵協;V·克里施纳穆尔希 | 申请（专利权）人： | 伯韦尔科学公司 |
| 主分类号： | G03C1/492 | 分类号： | G03C1/492;G03C1/815 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李勇 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 蚀刻速率及其它性能改进的抗反射涂料组合物由某些高分子量聚合物和共聚物,特别是甲基丙烯酸缩水甘油酯制备。 | ||
| 搜索关键词： | 改进 热固性 深紫 反射 涂料 | ||
【主权项】：
1．一种改进的热固性深紫外抗反射组合物，其包含：a．高分子量丙烯酸酯类聚合物或共聚物与吸收深紫外光的羧酸或酚染料的反应产物，所说的反应产物具有与羧酸或酚染料相连的聚合物或共聚物，在羧酸染料的情况下，聚合物或共聚物通过羟酯基团与羧酸相连，在酚染料的情况下，聚合物或共聚物通过羟醚基团与酚染料相连，其中连接基团在反应过程中原位形成；b．选自蜜胺、脲、苯代三聚氰胺、甘脲或其衍生物的烷基化氨基塑料交联剂；c．用于固化的质子酸催化剂；d．含低至中等沸点即70-80℃的醇的溶剂体系，其包含至少20wt％的醇；从而使所说的组合物具有改进的等离子体蚀刻速率，同时保留快固化速度、高光密度、在安全且挥发性溶剂中的良好溶解性和由安全且挥发性溶剂中的良好涂覆性，并具有改进的保形性和特征覆盖度，其中的溶剂在光致抗蚀材料之间具有高差别溶解度。
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