[发明专利]带氧化锌层的基片、氧化锌层的制造方法、光电器件以及光电器件的制造方法、无效

专利信息
申请号: 99100758.1 申请日: 1999-01-22
公开(公告)号: CN1230032A 公开(公告)日: 1999-09-29
发明(设计)人: 荒尾浩三;田村秀男;远山上;园田雄一;官本祐介 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: H01L31/04 分类号: H01L31/04;H01L31/02;H01L31/18
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 刘金辉
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供一种带氧化锌层的基片,至少氧化锌层设置在支撑基片上,其中氧化锌层从支撑基片侧开始依次包括具有c轴垂直于支撑基片的氧化锌层和c轴向支撑基片倾斜的氧化锌层;以及半导体层形成在带氧化锌层的基片上的光电器件。由此提供具有优良的反射性质和光限制效应,以及高光电转换效率的廉价的光电器件。
搜索关键词: 氧化锌 制造 方法 光电 器件 以及
【主权项】:
1.一种带氧化锌层的基片,其中至少氧化锌层设置在支撑基片上,氧化锌层从支撑基片侧开始依次包括c轴垂直于支撑基片的氧化锌层和c轴向支撑基片倾斜的氧化锌层。
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