[发明专利]二维图像检像器及其制造方法

摘要

本发明的二维图像检像器,用各向异性导电粘接剂粘接具有电荷储存电容和TFT的有源矩阵基片和具有半导体基片的对置基片。因此,上述TFT不必在已形成的有源矩阵基片上成膜形成半导体层便可完成,从而能够采用CdTe或CdZnTe等。因此,通过将CdTe或CdZnTe等用于具光导电性的半导体层材料,响应性可得到改善,还可适应活动影像。

主权项

1．一种二维图像检像器，其特征在于，该检像器包括：具有开关元件(5)和包含与该开关元件连接的像素电极(16,26)在内的电荷储存电容(4)的有源矩阵基片(1,22)；和具有电极层(19)和具光导电性的半导体层(18,29)的对置基片(2,27,30)，所述有源矩阵基片和所述对置基片这两层基片设置成所述电荷储存电容和所述半导体层相对，还包括设于所述两层基片间与这两层基片连接的连接层(3)。