[发明专利]改善了在碱性水溶液中剥离性能的可光成象组合物有效
| 申请号： | 99104155.0 | 申请日： | 1999-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN1235282A | 公开（公告）日： | 1999-11-17 |
| 发明（设计）人： | R·W·考茨;R·B·巴雷 | 申请（专利权）人： | 莫顿国际股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/033 | 分类号： | G03F7/033 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 林蕴和 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种可用作光致抗蚀剂的负片型可光成象组合物,该组合物包括酸官能粘合剂聚合物、可光成象组分和光引发剂化学体系,其中粘合剂聚合物具有多峰分子量分布,以促进光致抗蚀剂以较小的颗粒快速剥离。快的剥离时间和小的剥离颗粒的结合可使光致抗蚀剂以有利于环境的只含水的方法从电镀的电路板上剥离。 | ||
| 搜索关键词： | 改善 碱性 水溶液 剥离 性能 成象 组合 | ||
【主权项】：
1．一种负片型可光成象组合物，它包括：A)形成膜的粘合剂聚合物，该聚合物具有足够的酸官能度，使所述的可光成象组合物能在碱性水溶液中显影，所述的粘合剂聚合物A)包括多峰分子量分布的聚合物；B)能与所述的粘合剂聚合物A)交联的可光聚合单体；和C)光引发剂。
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