[发明专利]以测量线路电阻值决定线路宽度补偿值的方法无效
申请号: | 99104822.9 | 申请日: | 1999-04-01 |
公开(公告)号: | CN1269694A | 公开(公告)日: | 2000-10-11 |
发明(设计)人: | 林文彦;黄士庭 | 申请(专利权)人: | 华通电脑股份有限公司 |
主分类号: | H05K3/00 | 分类号: | H05K3/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 章蔚强 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及一种以测量线路电阻值决定线路宽度补偿值的方法,主要是先预设多道相同长度、厚度、电阻系数但不同线宽的印刷线路,并实际测量其电阻值,根据w(线宽)=[(ρ/t)×L(线长)]/R±σ(侧蚀量)关系换算出其与原底片上所设线路的宽度差异,亦即实际制程中的侧蚀量,利用该侧蚀量线路可在线路底片设计时预作补偿。又利用上述方法作材料(电阻系数/厚度)均匀性的评估。 | ||
搜索关键词: | 测量 线路 阻值 决定 宽度 补偿 方法 | ||
【主权项】:
1.一种以测量线路电阻值决定线路宽度补偿值的方法,其特征在于:主要是经测量取得印刷线路的实际电阻值,根据W(线宽)=〔(ρ/t)×L(线长)〕/R±σ(侧蚀量)的关系式换算出线路的平均线宽,并与原底片线路比较线宽差异以取得侧蚀量。
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