[发明专利]用于离子源的十硼烷蒸发器无效
| 申请号： | 99105339.7 | 申请日： | 1999-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN1236181A | 公开（公告）日： | 1999-11-24 |
| 发明（设计）人： | T·N·霍斯基 | 申请（专利权）人： | 易通公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01L21/265;C30B31/22;C23C14/48 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 崔幼平,林长安 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于离子注入装置的离子源(50),它包括(i)一个升华装置(52),它有一腔室(66);(ii)一电离腔室(58),(iii)一送料管(62);以及,(iv)一加热介质(70)。设置一控制机构,用来控制加热介质(70)的温度。其包括用来把加热介质(70)加热的加热件(80),用来使加热介质循环的泵(55),用来提供来自加热介质(70)的温度反馈信号的至少一个热电偶(92),以及一个控制器(56),它对温度反馈信号作出响应,对加热件输出第一控制信号(94)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 离子源 十硼烷 蒸发器 | ||
【主权项】：
1．一种用于离子注入装置的离子源(50)，它包括：(ⅰ)一个升华装置(52)，它有一个腔室(66)，用来容纳被升华的源材料(68)，并用来使此源材料升华；(ⅱ)一个电离腔室(58)，用来把升华了的源材料电离，所述电离腔室远离所述升华装置；(ⅲ)一根送料管(62)，用来把所述升华装置(52)连接到所述电离腔室(58)上；以及(ⅳ)一种加热介质(70)，用来加热所述升华装置(52)和所述送料管(62)的至少一部分．
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