[发明专利]微小间距电极及其形成方法以及微小间距电极单元无效
| 申请号： | 99105515.2 | 申请日： | 1999-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN1261721A | 公开（公告）日： | 2000-08-02 |
| 发明（设计）人： | 椿田英昭;户田耕二;三浦道夫 | 申请（专利权）人： | 雅马哈株式会社 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02 |
| 代理公司： | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人： | 杨梧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种微小间距电极,可高精度等间隔设定微小电极线,同时提高生产率和品质。该微小间距电极11具有微小电极线12,周围用由绝缘物组成的覆盖膜覆盖;封闭构件19,把该多根微小电极线12成面状地配置固定。 | ||
| 搜索关键词： | 微小 间距 电极 及其 形成 方法 以及 单元 | ||
【主权项】：
1、一种微小间距电极，其特征在于，具有：直线状微小电极线，周围被用由绝缘物组成的覆盖膜厚度大致均匀地覆盖；模制构件，使该微小电极线多根成面状排列，同时将其整体模压；把所述各微小电极线的覆盖膜直径设定成与多根所述各微小电极线的间距间隔大致相同。
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