[发明专利]用于研磨磁头的设备和方法

摘要

本发明涉及研磨由工具支承的包括多个磁头的工件的方法和设备。研磨设备包括旋转研磨工作台、研磨头安装框架、由框架弹性支承的调节环、安装在调节环上的研磨头、安装在研磨头上的倾斜装置和枢接于研磨头的可上、下移动的支承板。该设备还包括通过在支承板枢轴点右侧和左侧施加力以修正平衡的第一致动装置，以及用于修正工件弓形的第二致动装置，其将工作力施加在工具的多个预定位置上，使第二致动装置的活动部分基本平行于工作力的方向。

主权项

1.用于研磨由一个工具支承的具有多个磁头的工件的设备，该设备包括：一个具有研磨表面的旋转研磨工作台；研磨头安装装置，其设置得可相对于所述研磨工作台移动；一个调节环，它由所述研磨头安装装置弹性地支承以便与所述研磨表面接触；一个安装在所述调节环上的研磨头，所述研磨头的姿态由所述调节环控制；一个倾斜组件，它安装在研磨头上以便绕一平行于所述研磨表面的倾斜轴线倾斜；倾斜组件驱动装置，其用于使倾斜组件相对于所述研磨表面倾斜；一个提升组件，其可以相对于倾斜组件上、下移动；一个枢接于倾斜组件下部的支承板，所述工具安装在所述支承板上；第一致动装置，其用于通过在所述支承板的枢轴点的右侧和左侧施加力来修正平衡；以及第二致动装置，其用于在所述工具的多个预定位置上施加工作力，使第二致动装置的活动部分的运动方向基本平行于工作力的方向，从而修正工件的弓形。