[发明专利]可形成均匀蚀刻液膜的装置

摘要

一种可形成均匀蚀刻液膜的装置,其配置于滚轮片式滚轮上,此滚轮片式滚轮支撑一双面板,滚轮下方放置多个第一蚀刻液喷嘴。此装置包括多个实心滚轮、数排第二蚀刻液喷嘴与数排喷气嘴。实心滚轮位于滚轮片式滚轮上方的同一平面上且彼此平行,相邻的实心滚轮间具有第一间隔与第二间隔,实心滚轮接触双面板,使得双面板上的蚀刻液膜可覆盖均匀。第二蚀刻液喷嘴配置于第一间隔的上方。喷气嘴配置于第二间隔上方。

主权项

1．一种可形成均匀蚀刻液膜的装置，配置于多个滚轮片式滚轮上，这些滚轮片式滚轮位于同一平面而彼此平行并适于支撑一双面板，且该些滚轮片式滚轮下方放置有多个第一蚀刻液喷嘴，该装置包括：多个实心滚轮，位于该些滚轮片式滚轮上方的同一平面上而彼此平行，且每二相邻的该些实心滚轮间具有一间隔，该些间隔又区分为多个第一间隔与多个第二间隔，该些实心滚轮适于接触该双面板，使得该双面板上的一蚀刻液膜覆盖均匀；多排第二蚀刻液喷嘴，配置于该些第一间隔的上方，且与该些实心滚轮的轴向平行；以及多排喷气嘴，配置于该些第二间隔上方，且与该些实心滚轮的轴向平行。