[发明专利]内场助金属超微粒子/介质复合光电发射薄膜

摘要

一种可以对近红外波段弱超快光信号进行检测的内场助光电发射薄膜结构，属于半导体器件领域。此种光电发射薄膜结构的特点是在金属超微粒子/介质复合薄膜表面沉积一层一定厚度的银薄膜电极，从而通过加入内场的方法达到提高该种光电发射薄膜量子产额的目的。本发明的内场助金属超微粒子/介质复合光电发射薄膜可用于近红外光电检测、超快光电信号转换等方面。

主权项

1.一种内场助金属超微粒子/介质复合光电发射薄膜Ag-BaO或Ag-O-Cs，其特征在于金属超微粒子/介质复合薄膜的结构如下：(1)透明玻璃基底；(2)在玻璃基底上镀有以SnO2为主要成份的透明导电薄膜，厚度100～150nm，用导线引出接至电源负极；(3)氧化物半导体基质，厚度50～100nm；(4)含有直径为5～20nm的Ag微粒的半导体基质，厚度80～120nm；(5)厚度为5～10nm的氧化物BaO或Cs2O；(6)Ag薄膜电极，厚度10～20nm，用导线引出接至电源正极。