[发明专利]有高介电常数的介电材料或铁电材料的电容器及制造方法

摘要

具有高ε介电材料或铁电材料的电容器介电材料(9)的电容器,其含贵金属的存储器电极具有多层薄片(61),这些薄片经支撑结构(7)彼此连接并且在必要时与载体连接。支撑结构可以安置在薄片的一个或多个外侧面之上,或者可以在内部通过薄片伸展。制作可以例如通过交替地用较低和较高腐蚀率的层系列的淀积(必要时在下部区域具有阻止腐蚀层),腐蚀成层结构,形成支撑结构以及有选择的除去具有高腐蚀率的层来实现。

主权项

1.安置在半导体装置内的载体上的电容器，-具有含贵金属的第1电极(61，7)，-具有由高ε介电材料或铁电材料构成的电容器介电材料(9)，-具有第2电极(10)，其特征为：第1电极具有至少两彼此相隔的薄片(61)，这些薄片基本上对载体表面平行安置并经支撑结构(7)彼此电和机械连接。